自主创新助力国产分子泵勇立潮头记深圳大学物(2) - 哈尔滨学院学报杂志社投稿

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自主创新助力国产分子泵勇立潮头记深圳大学物(2)

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（1）“径流泵”利用分子牵引抽气，主要用于中真空区段抽气，抽速高出传统罗茨泵3～5倍，能耗不到1/4，还具有快速抽除高真空惰性气体的能力；

（2）“电弧泵”利用独特的高真空弧光放电（传统弧光放电需要大量气体分子，与高真空不兼容）和化学吸附抽气，具有超强的高真空抽气能力，用于高真空区段抽气，抽速高出扩散泵50%，能耗不到扩散泵的1/4，而且抽气利用率高达100%。

（3）“电弧泵和径流泵组成机组”，其技术、性能指标全面超越传统“扩散泵机组”，其抽速高出扩散泵机组50%；能耗（相同抽速比较）仅为扩散泵的1/4；启动时间为0.1s（不到扩散泵的1/）；真空质量彻底消除油蒸汽污染；在相同产能下，设备费用与扩散泵机组持平，不到低温泵机组的1/2 。“电弧泵机组”和传统“扩散泵机组”性能比较如表1所示。

表1 “电弧泵机组”和传统“扩散泵机组”性能比较项目单位电弧泵机组扩散泵机组电弧泵机组的优点泵口尺寸 mm 800 800抽速 l/s 9600 抽速高出50%能耗万度/年 5 20 kW 8 26 相同抽速，能耗降低75%，每台设备节电15万度/年启动时间 min 0.01 60 启动时间降至1/真空质量—清洁、无油油蒸染重真空质量显著提高设备费用———1年节省的电费，可收回增加的设备费用

“低碳、无油蒸发镀膜设备”

显然，“电弧泵机组”的性能、技术指标和社会、经济经济效益，全面、大幅度超越传统扩散泵机组。“电弧泵机组”现已用于苏州彩衣真空科技有限公司的蒸发镀膜生产线，成功取代2台高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵机组，取得了优异成绩：

（1）抽速提高50%，产能增加1/2；

（2）节能降至1/3，计入产能提高，能耗不到1/4，每台镀膜设备，节电30万度/年。蒸发镀膜行业在用设备约2万台，全面推广，节电总量达60亿度/年；

（3）消除油蒸汽污染，显著提高产品质量（例如：用于强激光器件、激光武器，显著提高器件的使用寿命）；

（4）设备费用回收快。设备更新，“低碳、无油镀膜设备”，高出传统设备机组30万元/台；设备改造费用，每台设备30万元/台。即1年节省的电费，即可收回增加的设备费用。

蒸发镀膜是真空产业中最有代表性的大型设备。“电弧泵机组”成功取代蒸发镀膜设备的传统“双扩散泵机组”，展示了真空产业取代高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵，已经没有攻克不了的难题。“电弧泵”的问世，宣告了“扩散泵”的历史使命的终结，真空产业即将迎来一个低碳、无油的“电弧泵时代”。储继国相信，加快“低碳、无油机组”产业化和推广应用的步伐，我国真空产业有望超越发达国家，率先淘汰沿用至今80多年的高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵，进入真空产业的最高境界——“低碳、无油真空新时代”，真正为国家的“创新强国梦”尽一份绵薄之力。

文章来源：《哈尔滨学院学报》网址: http://www.hebxyxb.cn/qikandaodu/2021/0420/651.html